新吴区无尘车间等级标准
无尘车间洁净度等级标准ISO14644-1根据悬浮颗粒浓度的唯壹指标,划分洁净室及相关控制
一.万级无尘室标准
1.蕞大允许颗粒数(每立方米),≧0.颗粒数不能超过3.5万微米,≧5微米颗粒数不能超过2000个;蕞大允许颗粒数(每立方英尺),≧0.5微米颗粒数不能超过1万个.单位转换:1m³=35.3ft³).
2.微生物蕞大允许数:浮游菌数不超过100个m³;沉隆菌数不得超过3个
3.压差:不同洁净等级相邻洁净室之间的压差应为≧5pa,洁净室和非洁净室之间≧10pa。
二.万级洁净室对温度、湿度要求
1.冬季:温度20~22222℃,湿度40~50%
2.夏季:24~26℃/±2℃,湿度50~70%
三.影响因素
1.风量(新风、回风、送风、通风次数、万级≧20次/h
2.风速:0.25m/s~0.5m/s
3.正压:≧5pa环境压力
4.噪音:70分贝(dB)
四.滤网的级别
1.G1对粒径≧5.0um,过滤效率≧20%
2.G2对粒径≧5.0um,50-20%的过滤效率
3.G3对粒径≧5.0um,70-50%的过滤效率
4.G4对粒径≧5.0um,90-70%的过滤效率
5.F7对粒径≧1.0um,过滤效率90>E≧70%
6.F8对粒径≧1.0um,过滤效率90>E≧75%
7.F9对粒径≧1.0um,过滤效率99>E≧90%
8.H12对粒径≧0.5um,过滤效率≧99.9%
9.H13对粒径≧0.5um,过滤效率为≧99.99%(99.97%-99.99%)H17)
10.H14对粒径≧0.5um,过滤效率为≧99.999%
洁净室压差控制
1.压差实质:新风量和排气量压差风量之间的平衡
DC系统:新风量=排风量压差风量
循环系统:新风量回风量=回风量排风量压差风量
本质是:新风量=排风量压差风量
因此:洁净室压差的建立和调,应反映新风量、排风量压差风量之间的平衡
对于循环系统,输送一定的风量,一般可根据要求调整排气量,然后调整回风量,建立压差。
注:洁净室送风量要求一定,因此不能作为控制变量。
2.引起洁净室压差波动的外扰因素及对策:
A.送风系统过滤器阻力变化
B.户外风压
要求:围护结构和门密封性能好,洁净室对外≥10pa压差。保持邻近洁净室的压差。≥5pa压差。
C.洁净室门的启闭影响压差,温度也影响空气对流速度。Δt=0℃,开门空气交换量为0.19m³/s,Δt=2℃,则达0.24m³/s。
为避免回流(反吸),流经门的空气速度应为>0.2m/s。(ISO14644-4中提到的保持低压差所需的气流速率)。.25m³/s-0.5m³/s气流速率。
保持压差的对策:选择闭环控制,设置缓冲室或气闸。
D.洁净室压差会导致回流,因此需要选择闭环控制,避免压差起伏。
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